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物理系外延薄膜生長系統(tǒng)采購項目變更公告

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一、項目基本情況

原公告的采購項目編號:3324-DHNS2132H183(SZDL2021339808

原公告的采購項目名稱:物理系外延薄膜生長系統(tǒng)采購項目

首次公告日期:2021年817

二、更正信息

更正事項:采購公告 R采購文件 □采購結(jié)果     

更正內(nèi)容:

序號

貨物名稱

原招標技術(shù)要求

現(xiàn)招標技術(shù)要求

1

 

外延薄膜生長系統(tǒng)

(一)PLD腔室


▲7.1配備激光加熱裝置,使用工業(yè)級紅外激光器,功率≥200W,樣品加熱溫度≥1000°C以上,10Pa臭氧環(huán)境中可以加熱≥850℃;10*10mm樣品區(qū)域;

▲7.1配備激光加熱裝置,使用工業(yè)級紅外激光器,功率≥200W,樣品加熱溫度≥1000°C以上,10Pa臭氧環(huán)境中可以加熱≥850℃;10mm*10mm樣品區(qū)域;10mm x10mm大小樣品的溫度不均勻度2% (提供溫度均勻性的測試數(shù)據(jù));

▲8.2.靶臺可以公轉(zhuǎn)(用于選靶),靶臺可以自轉(zhuǎn),同時在X方向上線性掃描,公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和掃描由步進馬達驅(qū)動。靶臺自轉(zhuǎn)和線性掃描可以在激光束不動的情況下,使激光相對掃過整個靶材表面,從而保證激發(fā)出的等離子體羽輝位置、角度都不發(fā)生改變;

▲8.2.靶臺可以公轉(zhuǎn)(用于選靶),靶臺可以自轉(zhuǎn),同時在X方向上線性掃描,公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和掃描由步進馬達驅(qū)動。靶臺自轉(zhuǎn)和線性掃描可以在激光束不動的情況下,使激光相對掃過整個靶材表面,從而保證激發(fā)出的等離子體羽輝位置、角度都不發(fā)生改變;(提供產(chǎn)品彩頁)。

8.5. 靶臺配有水冷;

8.5. 靶臺配有水冷;(提供產(chǎn)品彩頁)

(二)MBE腔室


▲4.2.加熱樣品臺采用輻射和電子束加熱的方式,溫度≥1000℃;低溫樣品臺通過液氮實現(xiàn)80K-RT的變溫;

▲4.2.加熱樣品臺采用輻射和電子束加熱的方式,溫度≥1000℃;低溫樣品臺通過液氮實現(xiàn)80K-RT的變溫;(提供產(chǎn)品彩頁)


更正日期:2021年826

三、其他補充事宜

1.采購文件如涉及上述內(nèi)容的亦作相應(yīng)修改,本通知與原采購文件矛盾之處,以本通知為準。

2.投標人有義務(wù)在采購活動期間瀏覽相關(guān)網(wǎng)站,在網(wǎng)上公布的與本次采購項目有關(guān)的信息視為已送達各投標人。

3.招標文件已重新上傳,請投標人重新下載修改后的招標文件,并按照最新版招標文件制作投標文件加密并上傳。

四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問,請按以下方式聯(lián)系。

1.采購人信息

稱:南方科技大學

地址:深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1088號

聯(lián)系方式:顏老師 0755-88018081

2.采購代理機構(gòu)信息

   稱:深圳市東海國際招標有限公司

   址:深圳市南山區(qū)留仙大道4168號眾冠時代廣場A座35樓3509號

聯(lián)系方式:0755-86103786轉(zhuǎn)802/806

3.項目聯(lián)系方式

項目聯(lián)系人:常工、

電   話:0755-86103786轉(zhuǎn)802/806


深圳市東海國際招標有限公司

2021-08-26

購買標書
項目編號 3324-DHNS2132H183(SZDL2021339808) 項目名稱 物理系外延薄膜生長系統(tǒng)采購項目變更公告
購買時間 開始時間:1970-01-01 -- 截止時間:1970-01-01
供應(yīng)商企業(yè)名稱
聯(lián)系人姓名 聯(lián)系人手機號碼
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